T550Z 硫化鋅(ZnS)專用電阻蒸發(fā)系統(tǒng)
T550Z是維開科技為高質(zhì)量的ZnS沉積工藝開發(fā)的一款專用電阻蒸發(fā)系統(tǒng),功能強(qiáng)大,穩(wěn)定可靠,自動(dòng)化控制程度高,維護(hù)簡(jiǎn)單,可以滿足專業(yè)的ZnS沉積工藝需求。
§ 抽氣系統(tǒng):
低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機(jī)械泵
§ 真空檢測(cè):
全量程真空規(guī)
§ 電阻源功率:
最大8千瓦
§ 離子源:
考夫曼/霍爾離子源
§ 膜厚監(jiān)控:
晶振控制器
§ 工件角度:
-45°至+45°可調(diào)
§ 極限真空度:
1E-5Pa
§ 工件盤控溫:
室溫至200℃
§ 均勻可鍍區(qū):
最大?300mm
§ 鍍膜均勻性:
±3%
§ 鍍膜重復(fù)性:
±2%
§ 占地面積:
3.3m(長(zhǎng))*2.7m(寬)*2.2m(高)
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