E1500Pro是維開科技開發(fā)的一款晶圓級(jí)全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，配有EFEM系統(tǒng)，功能強(qiáng)大，穩(wěn)定可靠，維護(hù)簡單，可滿足大批量生產(chǎn)需求。

§ 抽氣系統(tǒng)：

低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機(jī)械泵

§ 真空檢測：

全量程真空規(guī)

§ 電子槍功率：

最大10千瓦

§ 電阻蒸發(fā)源：

可選配

§ 離子源：

直流/射頻

§ 膜厚監(jiān)控：

晶振控制器

§ 掛具類型：

行星式

§ 極限真空度：

1E-5Pa

§ 工件盤控溫：

室溫至200℃

§ 均勻可鍍區(qū)：

最大12*?200mm

§ 鍍膜均勻性：

±2%

§ 鍍膜重復(fù)性：

±2%

§ 占地面積：

9.5m（長）*5.6m（寬）*3.5m（高）