EP100是一款通用型皮爾斯電子槍蒸發(fā)系統(tǒng)，穩(wěn)定可靠，維護簡單，可以滿足批量生產(chǎn)和研究開發(fā)的各類需求。

§ 真空工藝腔：

1個不銹鋼腔室

§ 真空進樣室：

1套獨立手動樣品進樣腔室

§ 抽氣系統(tǒng)：

擴散泵+機械泵

§ 真空檢測：

全量程真空規(guī)

§ 流量控制：

數(shù)字式質(zhì)量流量計

§ 電子槍數(shù)量：

可并聯(lián)3至4套電子槍

§ 燈絲電流：

120安培

§ 電子束流：

3安培

§ 極限真空度：

5E-4Pa

§ 工件盤控溫：

1200℃

§ 均勻可鍍區(qū)：

?500mm

§ 鍍膜均勻性：

±5%